半導體制造是人類迄今為止掌握的工業技術難度最高的生產環節,是先進制造領域皇冠上的一顆鉆石。隨著半導體技術不斷發展,芯片線寬尺寸不斷減小,制造工序逐漸復雜。目前國際上7 nm制程已進入產業化階段,需要近2000道工序,先進的制程和復雜的工序將持續提升對于先進設備的需求。
晶圓制造環節設備包括光刻機、化學氣相淀積設備、物理氣相淀積設備、刻蝕機、離子注入機、褪火設備、清洗設備等;封裝環節設備包括研磨減薄設備、切割設備、度量缺陷檢測設備、裝片機、引線鍵合設備、注塑機、切筋成型設備等;測試環節設備包括測試機(ATE,Automatic Test Equipment)、分選機(Handler)、探針臺(Wafer Prober)等。這些設備的制造需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術,目前最先進的設備已經在進行原子級別的制造,具有技術含量高、制造難度大、設備價值高等特點。
在測試設備中,測試機用于檢測芯片功能和性能,探針臺與分選機實現被測芯片與測試機功能模塊的連接。晶圓檢測環節需要使用測試機和探針臺,成品測試環節需要使用測試機和分選機,具體測試流程如下:
(1)晶圓檢測環節(CP)
晶圓檢測是指通過探針臺和測試機的配合使用,對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試,其測試過程為:探針臺將晶圓逐片自動傳送至測試位置,芯片的Pad 點通過探針、專用連接線與測試機的功能模塊進行連接,測試機對芯片施加輸入信號并采集輸出信號,判斷芯片功能和性能是否達到設計規范要求。測試結果通過通信接口傳送給探針臺,探針臺據此對芯片進行打點標記,形成晶圓的Map圖。
(2)成品測試環節(FT)
成品測試是指通過分選機和測試機的配合使用,對封裝完成后的芯片進行功能和電參數測試,其測試過程為:分選機將被測芯片逐個自動傳送至測試工位,被測芯片的引腳通過測試工位上的基座、專用連接線與測試機的功能模塊進行連接,測試機對芯片施加輸入信號并采集輸出信號,判斷芯片功能和性能是否達到設計規范要求。測試結果通過通信接口傳送給分選機,分選機據此對被測芯片進行標記、分選、收料或編帶