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半導體設備基石之半導體精密零部件

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  • 添加日期:2022年11月30日

半導體產業鏈中工藝繁多,設備更多,高端芯片制造整個流程下來多達幾千道工序,高質量的半導體精密零部件是是半導體設備賴以生存的基石。

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半導體設備產業鏈總體可以分:上游原材料、半導體設備零部件、半導體設備,IDM客戶。

  1. 上游原材料包括:鋁合金材料、其他金屬與非金屬材料

  2. 半導體設備零部件:工藝零部件、結構零部件、模組、氣體管路、真空系統類、傳感器、儀器儀表

  3. 半導體設備:光刻設備、刻蝕設備、清洗設備、薄膜沉積設備、離子注入設備、機械拋光設備、封裝測試設備

  4. IDM客戶:三星、英特爾、臺積電、中芯國際等晶圓制造和封裝測試廠商


半導體設備零部件參數高標準,工藝復雜。 需要兼顧精度、強度、潔凈度、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復合功能要求,半導體精密零部件種類眾多,市場較為分散。

由于半導體設備技術工藝復雜、種類各異,因此精密零部件的種類繁多,主要包括機械類中的金屬工藝件、結構件,電氣類,機電一體類,氣體/液體/真空系統類,儀器儀表類,光學類等等,各個細分市場規模較小,且不同零部件之間工作原理各異,導致碎片化特征較明顯。

目前多數細分行業內領先的供應商為日美企業,近年來國產廠商奮起直追,在部分細分領域已經逐步實現國產替代,例如菲利華的石英零部件,萬業企業旗下的 Compart Systems 的氣體系統,華卓精科的雙工機臺等。

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